編輯:欣達電子 發(fā)表日期 : 2019-04-16 閱讀量:430
1.堿性除油:除去板面油污,指印,氧化物,孔內(nèi)粉塵;使孔壁由負電荷調(diào)整為正電荷,便于后工序中膠體鈀的吸附;除油后清洗要嚴格按指引要求進行,用沉銅背光試驗進行檢測。
2.微蝕:除去板面的氧化物,粗化板面,保證后續(xù)沉銅層與基材底銅之間具有良好的結(jié)合力;新生的銅面具有很強的活性,可以很好吸附膠體鈀;
3.預浸:主要是保護鈀槽免受前處理槽液的污染,延長鈀槽的使用壽命,主要成分除氯化鈀外與鈀槽成份一致,可有效潤濕孔壁,便于后續(xù)活化液及時進入孔內(nèi)進行足夠有效的活化;
4.活化:經(jīng)前處理堿性除油極性調(diào)整后,帶正電的孔壁可有效吸附足夠帶有負電荷的膠體鈀顆粒,以保證后續(xù)沉銅的平均性,連續(xù)性和致密性;因此除油與活化對后續(xù)沉銅的質(zhì)量至關(guān)重要??刂埔c:規(guī)定的時間;標準亞錫離子和氯離子濃度;比重,酸度以及溫度也很重要,都要按作業(yè)指導書嚴格控制。
5.解膠:去除膠體鈀顆粒外面包抄的亞錫離子,使膠體顆粒中的鈀核暴露出來,以直接有效催化啟動化學沉銅反應(yīng),經(jīng)驗表明,用氟硼酸做為解膠劑是比較好的選擇。
6.沉銅:通過鈀核的活化誘發(fā)化學沉銅自催化反應(yīng),新生的化學銅和反應(yīng)副產(chǎn)物氫氣都可以作為反應(yīng)催化劑催化反應(yīng),使沉銅反應(yīng)持續(xù)不斷進行。通過該步驟處理后即可在板面或孔壁上沉積一層化學銅。過程中槽液要保持正常的空氣攪拌,以轉(zhuǎn)化出更多可溶性二價銅。